
超净应用(UHP)-高压不锈钢隔膜阀-945系列
派克汉尼汾945系列不锈钢隔膜阀提供优良的泄漏完整性,高循环寿命,及低的粒子生成,从真空应用到3500 psig压力范围可用.适用于超高压半导体应用,包括高压工艺线、气体控制柜和阀门分配箱系统
产品技术
从动力生成到精确控制,提供适用于工业设备和移动机械的高性能液压元件、子系统与集成方案。
技术概览
从动力生成到精确控制,提供适用于工业设备和移动机械的高性能液压元件、子系统与集成方案。
产品系列

派克汉尼汾945系列不锈钢隔膜阀提供优良的泄漏完整性,高循环寿命,及低的粒子生成,从真空应用到3500 psig压力范围可用.适用于超高压半导体应用,包括高压工艺线、气体控制柜和阀门分配箱系统

派克17R系列不锈钢隔膜阀为高流量散装输送和气体系统提供正向关闭。可选手动或气动,用于超高纯度半导体制造应用。17R系列材料在工作压力达3000 psig下提供耐腐蚀性。可配置流量容量达0.80

派克18R系列不锈钢隔膜阀为高流量散装输送和气体系统提供正向关闭。可选手动或气动,1/2或3/8英寸阀体尺寸可选,用于超高纯度半导体制造应用中。可配置的流量容量达1.30 CV.

派克汉尼汾970系列不锈钢隔膜阀提供高流量,即0.70 CV值,以及优越的防止泄漏完整性,使其非常适合用于超高纯度半导体设备应用,包括气体控制箱、气体控制柜和阀门分配箱系统

系列VH超重型3,000 psi额定液压油缸为高速应用而设计,其端口尺寸大于NFPA标准,用于增加油流量和超长锥形垫,以更大程度地实现行程末端能量吸收。

935A 和 935T 系列为1/2"接口,流量通过阀体连接直径为2"的钢管。这个设计可以使垂直单向阀进入横向气体分流系统的集成得到了简化。

935 系列膜片式隔膜阀(1/2英寸)设计应用于超高纯气体分流系统。在高流量、低压力的情况下提供理想的气体控制,在这种情况下,高抗漏性和绝对的纯净是关键。

UHP 含氟聚合物超净阀,其材质为PFA(含氟聚合物)或PTFE(聚四氟乙烯),适用于半导体液体环境应用,包括高浓度的酸和碱,明确的化学物质和浆料。

BDV系列是一种“正向复位”隔膜阀,可在半导体制造过程中实现气体和液体分配的精确控制。

700系列,高流量分装阀,旨在用于超高纯度气体分配系统的使用。采用轻量化设计,降低了安装成本,并且其连接接口尺寸可达6英寸。

955Y 系列隔膜阀(Y型阀体)连接两个高流量阀门进入一个紧凑型阀体,简化了吹扫系统到气体分流器的集成过程,同时提高净化系统的有效性

955 系列隔膜阀可以广泛应用于手动气动执行器。此系列阀门具有高稳定性,抗漏性,及洁净度;适用于超高压半导体行业的应用。
典型应用
从元件选型到系统集成,围绕压力、温度、介质、环境和生命周期目标优化方案。
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