
EPiC 数字电子压力控制器
EPiC - 微型数字压力控制器
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EPiC - 微型数字压力控制器


SMSQ2Micro 减压阀用于狭小空间需要精确压力控制的UHP超高纯使用点应用。提供优秀的可靠性和泄露完整性,使其成为关键的半导体操作的理想选择。

Regulator for pressure applications

FR1000 在半导体和其他清洁的天然气输送超高纯度的调节过程. 低到中等流量,这个系列的阀门在阀歧管箱,煤气柜,和其他半导体制造等行业非常广泛的应用.

FR1200系列是单级的减压阀,入口压力高达1700 PSIG时提供高流量流通能力.大流量,联动式Hastelloy C-22®哈氏合金膜片提供强大的密封性能.隔膜的较大有效面积使该系列要求较低的弹簧弹力值.

FR1400 是高纯度的束缚隔膜,在半导体和其他洁净工艺中调节高压气体输送,可适应高流量。它是钢瓶或使用点散装和特殊气体应用的优良选择.

PFA 去离子水喷枪适用于高纯半导体应用。该设计使用了具有精密加工密封区域的高纯 PFA 模塑成型的枪体。

PR-1 系列PTFE减压阀提供高循环寿命和优异的耐腐蚀性。它的非卸荷设计需要通过阀门存在10 psi压差, 因此确保了腐蚀性流体应用中稳定的下游压力。

PR-08 系列PTFE减压阀用于超高纯和腐蚀性流体处理系统。它的非卸荷设计需要通过阀门存在5 psi压差,从而具有更好的衰减性和低滞后性。

1 / 4“PTFE背压调节器是适用于高纯度半导体行业应用,也非常适合超纯水和腐蚀性的化学品使用。 该设计采用了PFA身体精密加工阀座。

BR-08 系列的背压调节器在没有裸露金属的情况下提高功能、改善性能。它是为高纯度流体处理应用设计的,包括超纯水、腐蚀性化学品和泥浆应用.
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