
超高压气体调节器 - 高流量-BFR5K系列
BFR5K系列调节器为半导体加工设计的紧凑的,高流量,用于半导体加工的高性能散装气体调节器.
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BFR5K系列调节器为半导体加工设计的紧凑的,高流量,用于半导体加工的高性能散装气体调节器.

935A 和 935T 系列为1/2"接口,流量通过阀体连接直径为2"的钢管。这个设计可以使垂直单向阀进入横向气体分流系统的集成得到了简化。

935 系列膜片式隔膜阀(1/2英寸)设计应用于超高纯气体分流系统。在高流量、低压力的情况下提供理想的气体控制,在这种情况下,高抗漏性和绝对的纯净是关键。

959W 系列膜片式压力调节阀设计应用于高压及超高压环境。此系列阀门具有高稳定性和抗漏性,应用于气体连接,阀箱和上游生产线

UHP 含氟聚合物超净阀,其材质为PFA(含氟聚合物)或PTFE(聚四氟乙烯),适用于半导体液体环境应用,包括高浓度的酸和碱,明确的化学物质和浆料。

BDV系列是一种“正向复位”隔膜阀,可在半导体制造过程中实现气体和液体分配的精确控制。

非常适用于GC化学品和载气应用,包括ECD,并且标配经济模式,从而提高压缩机寿命。

735W 系列,二级减压调压阀,为高压超高纯度(UHP)应用而设计。该系列产品拥有优异的稳定性并降低供给压力作用的影响 - 不管入口压力如何波动,出口压力保持稳定。

700系列,高流量分装阀,旨在用于超高纯度气体分配系统的使用。采用轻量化设计,降低了安装成本,并且其连接接口尺寸可达6英寸。

955Y 系列隔膜阀(Y型阀体)连接两个高流量阀门进入一个紧凑型阀体,简化了吹扫系统到气体分流器的集成过程,同时提高净化系统的有效性

955 系列隔膜阀可以广泛应用于手动气动执行器。此系列阀门具有高稳定性,抗漏性,及洁净度;适用于超高压半导体行业的应用。

945Y 型隔膜阀连接两个阀门到一个单独的紧凑型阀门,简化了吹扫系统进入气箱的系统集成,并且提高了吹扫系统在超高纯半导体行业的应用的有效性。
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